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实现了比以往机型提高20倍以上的高灵敏度。配合株式会社日立高新技术科学独自开发的高计数率检测器[Vortex]和[精度管理型测量软件]后，较以往机型可平均缩短1/10的测量时间。
2. 安装了世界最高级的检测器
安装了不含液氮的15万CPS高帧率检测器（Vortex），拥有了远远超过以往使用液氮检测器时的灵敏度及分辨率。
3. 进一步缩短时间通用滤波器（选购项）
通过一枚复合的通用滤波器能够一次性将RoHS管理的5种元素测量。相比测量时间短的EA1200VX，能够进一步缩短测量时间。
4. 支持多种应用
由于可以在真空环境下测量，所以测量范围扩大到Na～U.（轻元素测量选配）。也可测量氯的高灵敏度。
5. 微小部位分析
采用1 mmΦX射线光束，进行印刷基板等任何微小部分的修正、定量。
6. 自动进样器（选购项）
仅仅通过最多可进行12个样品连续测量的自动进样器，能实现不同测定条件下样品的连续测量。当然，最大430×320 mm的大型样品也可直接进行测量。
| 测量元素 | 原子序数11(Na)～92(U) *真空选购项 |
|---|---|
| 样品形状 | 液体、粉体、固体 |
| X射线源 | 小型空冷室X射线管（Rh or W靶） 管电压：50 kV 管电流：10～1000 µA |
| X射线照射方向 | 斜下方照射型 |
| 检测器 | Vortex SDD检测器（无需液氮） |
| 分析区域 | 1、3、8 mmΦ（3 mmΦ选购项）（自动切换） |
| 样品观察 | 彩色CCD摄像头 |
| 滤波器 | 5种模式自动切换 |
| 最大样品尺寸 | 430（W）×320（D）×195（H）mm 239（W）×280（D）×66（H）mm （真空测量时） |
| 仪器尺寸 | 580（W）×650（D）×513（H）mm |
| 重量 | 95 kg |
| 电源/额定功率 | AC100 V～240 V(50/60 Hz)/210 VA |
| 样品交换机 | 可安装 *选购项 |
选购项
- 环境限制物质测量软件Ver.2
- 能谱匹配软件（材料辨别）
- 薄膜检量线软件
- 自动进样器
- 分析区域：3 mmΦ
- 真空棒（轻元素对应）
- 各种标准物质（金属薄膜用、环境限制物质用）
- 单向滤波器