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日立分析仪器(上海)有限公司

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X射线荧光镀层厚度测量仪 FT9300系列
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品牌: 日立/Hitachi
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2019-01-15 09:20
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详细信息
  • 型号:FT9300
  • 测量对象:镀金,镀银,镀镍,镀锡,镀铜
  • 工作原理:
  • 测量范围(Hm):0.01μm
  • 低限分辨率:50nm
  • 可测镀层最薄厚度:15 μm
 高速X射线管球的搭载,实现了高精度的测定。而且配合极微小准直器和光学变焦镜头可以实现极微小部分的测定。更可以对有高低平面差异的样品进行测定。

  1. 搭载了75W高性能X射线管。
  2. 搭载标准的Φ50 μm微小准直管(最小Φ15 μm)。
  3. 容易对微小领域进行观察。搭载了能4阶段切换的可变焦距光学系统。
  4. 依据照明能很容易对以前观察困难的样品进行观察。
  5. 搭载了防止有凹凸的样品碰撞的传感器。
  6. 搭载了焦点切换功能,能够对有高度的样品的低部分进行测定。
  7. 利用伺服马达精确的驱动平台。
  8. 运用激光聚焦功能简单实现位置的调整。
型号 FT9300 FT9350 FT9355
测量元素 原子序号Ti(22)~Bi(83)
原子序号21以下的元素可通过吸收法测量
X射线源 空冷式小型X射线管
管电压:50(可变更)kV
管电流: 10~1000 µA
检测器 比例计数管
准直器 ○型: 0.05, 0.1, 0.2 mmΦ
□型: 0.025 x 0.2, 0.2 x 0.025 mm
样品观察 CCD摄像头+变焦光学系统
X射线聚光 激光对焦
滤波器 一次滤波器: Mo-自动切换
二次滤波器: Co-自动切换
样品区域 X:240 mm, Y:170 mm
X:220 mm, Y:150 mm, Z:150 mm
X:430 mm, Y:330 mm
X:400 mm, Y:300 mm, Z:50 mm
X:700 mm, Y:600 mm
X:400 mm, Y:300 mm, Z:15 mm
测量软件 薄膜FP法(最大5层、10种元素)、检量线法、块体FP法(材料组成分析)
安全功能 样品室门联锁、样品冲突防止功能、仪器诊断功能

选购项

  • 电镀液分析(块体标准曲线)
  • 能谱匹配软件(材料辨别)
  • 扫描(强度面分析多点表示)软件

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