光-电联用显微镜法（CLEM）系统 MirrorCLEM

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品牌:日立/Hitachi
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 MirrorCLEM是搭配FE-SEM，迅速并准确支援CLEM解析的系统。

使用此系统，在光学显微镜下从低倍率到高倍率清晰观察树脂切片目标结构后，让观察位置与FE-SEM样品台坐标信息同步，通过控制马达台在FE-SEM上可观察同一位置。
此外，还可实时显示光学显微镜和FE-SEM的叠加图像。