品牌:日立/Hitachi
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| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 电子枪 | 预对中灯丝 |
| 检测系统 | 高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器 |
| 加速电压 | 5 kV/15 kV |
| 倍率 | ×15～×60,000（使用数码变焦时：×240,000） |
| 观察压力 | 大气压模式（105 Pa）（装有隔膜时） |
| 负压模式（约103 Pa～105 Pa）（装有隔膜时） | |
| 低真空模式（数 Pa～数10 Pa）（拆下隔膜时） | |
| 最大样品尺寸 | 直径55 mm |
| 大小和重量 | 主机：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手动操作台） 控制装置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg 隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5 kg ×2台 |
含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察
从低真空到大气压（数 Pa～105 Pa），可在大范围压力下进行SEM观察
标准搭载ES-Corrector（电子束散射校正）图像改善功能
在真空模式下，除了通常的SEM观察之外，还可进行EDX分析（选配）
主机采用330 mm宽度的小型设计，实现节省空间和高便利性
无需等待抽真空时间，快速实现从搭载样品到观察图像的全过程
