薄膜沉积是指在基底上沉积特定材料形成薄膜，使其具有光学、电学等特殊性能。光伏薄膜沉积设备主要应用于太阳能晶硅电池片的制造环节，伴随光伏电池由P型向N型的升级，TOPCon所采用的薄膜沉积设备投资占比将从25%提升至35%左右，HJT投薄膜沉积设备投资金额占比更是高达50%。招商证券预计2022年光伏薄膜沉积设备市场空间约为66亿元，2023年有望超百亿元。
