根据《关于印发2023年第二批中国石油和化学工业联合会团体标准项目计划的通知》(中石化联质发[2023]231号)要求，由中国石油和化学工业联合会提出，浙江大学衢州研究院、北京国化新材料技术研究院有限公司等单位组织制定的《等离子刻蚀气体八氟环丁烷》团体标准，现已完成征求意见稿编制工作(附件1-2)。为使标准具有科学性、先进性和适用性，现面向社会公开征求意见，欢迎社会各界对标准内容提出意见和建议。请于2024年10月31日前将标准征求意见反馈表（附件3）反馈至起草单位。
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中国石油和化学工业联合会标准化工作委员会
2024年9月26日
附件1-2：标准征求意见稿及编制说明
附件3：团体标准征求意见反馈表
