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石化联合会公示《等离子刻蚀气体 八氟环丁烷》团体标准

A-A+日期:2024-09-27来源:中国石油和化学工业联合会    

根据《关于印发2023年第二批中国石油和化学工业联合会团体标准项目计划的通知》(中石化联质发[2023]231号)要求,由中国石油和化学工业联合会提出,浙江大学衢州研究院、北京国化新材料技术研究院有限公司等单位组织制定的《等离子刻蚀气体八氟环丁烷》团体标准,现已完成征求意见稿编制工作(附件1-2)。为使标准具有科学性、先进性和适用性,现面向社会公开征求意见,欢迎社会各界对标准内容提出意见和建议。请于2024年10月31日前将标准征求意见反馈表(附件3)反馈至起草单位。


联系人:李晓庆

联系人:王孟雪

联系电话:15201692950

联系电话:13820283610

邮箱:lixiaoqing@acmi.org.cn

邮箱wangmengxue@acmi.org.cn


中国石油和化学工业联合会标准化工作委员会

2024年9月26日


附件1-2:标准征求意见稿及编制说明

附件3:团体标准征求意见反馈表


附件1-《等离子刻蚀气体 八氟环丁烷》征求意见稿.pdf

附件2-《等离子刻蚀气体 八氟环丁烷》编制说明.pdf

附件3:团体标准征求意见反馈表.docx

 

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