根据《关于印发2023年第二批中国石油和化学工业联合会团体标准项目计划的通知》(中石化联质发[2023]231号)要求，由中国石油和化学工业联合会提出，浙江大学衢州研究院、北京国化新材料技术研究院有限公司等单位组织制定的《等离子刻蚀气体八氟环丁烷》团体标准，现已完成征求意见稿编制工作(附件1-2)。为使标准具有科学性、先进性和适用性，现面向社会公开征求意见，欢迎社会各界对标准内容提出意见和建议。请于2024年10月31日前将标准征求意见反馈表（附件3）反馈至起草单位。

联系人：李晓庆

联系人：王孟雪

联系电话：15201692950

联系电话：13820283610

邮箱：lixiaoqing@acmi.org.cn

邮箱wangmengxue@acmi.org.cn

中国石油和化学工业联合会标准化工作委员会

2024年9月26日

附件1-2：标准征求意见稿及编制说明

附件3：团体标准征求意见反馈表

附件1-《等离子刻蚀气体 八氟环丁烷》征求意见稿.pdf

附件2-《等离子刻蚀气体 八氟环丁烷》编制说明.pdf

附件3：团体标准征求意见反馈表.docx