如果说电子化学品是化学品的皇冠,那么用于半导体行业的超净高纯电子化学品就是皇冠上璀璨的明珠。从我国“卡脖子”的芯片和光刻机,到日韩贸易争端中的“杀手锏”,电子化学品关键技术已成为世界公认的制造强国的重要标志。
7月2日,深耕电子化学品领域的多氟多化工股份有限公司发布公告,拟非公开发行股票募集资金总额不超过11.5亿元,用于3万吨/年超净高纯电子级氢氟酸、3万吨/年超净高纯湿电子化学品、3万吨/年高性能无水氟化铝技术改造项目以及补充流动资金。面对全球化企竞相攀登的电子化学品珠峰,中国企业的攀登号角再次吹响。
中宁硅业大门
“缺芯少魂”亟需解决
近年来,无论是“中兴事件”还是“华为制裁”,不难看出,美国针对的都是中国制造强国战略中的关键产业,而首当其冲的则是芯片的供应。从一定层面上来讲,芯片的研发和生产水平反映的是国家整体的科技水平。
近年来,芯片行业发展如火如荼,但在高科技产业基础芯片半导体领域,国产芯片所占的市场份额较低,许多中国企业都应用了大量国外企业研发的芯片。随着美国借题发挥对我国发动没有硝烟的“芯片战争”,作为芯片制造环节不可或缺的关键原材料,电子化学品“卡脖子”问题引发社会的高度关注。
电子化学品也称电子化工材料,是电子工业配套的精细化工材料。作为基础材料,电子化学品决定了电子元器件的性能,进一步影响终端产品甚至产业的发展和进步。该产业链处于化工和电子信息产业的交叉处,具有典型的交叉学科和跨界产业的特点,是化工行业推动上下游合作的一个新兴产业。
从细分领域来看,芯片电子化学品主要可以分为高纯试剂、光刻胶、特种电子气体、塑料封装材料等。其中,超净高纯试剂是主要应用于芯片行业的高纯试剂,又称湿电子化学品,其主体成分纯度大于99.99%,杂质离子和微粒数符合严格要求。其生产主要是以上游硫酸、盐酸、氢氟酸、氨水、氢氧化钠、氢氧化钾、丙酮、乙醇、异丙醇等为原料,经过预处理、过滤、提纯等工艺生产,得到纯度高产品。在半导体领域,湿电子化学品主要用于芯片的清洗和腐蚀,同时在硅晶圆的清洗中也起到重要作用,其纯度和洁净度对集成电路成品率、电性能及可靠性有着十分重要的影响。
湿电子化学品具有品种多、质量要求高、对环境洁净度要求苛刻、产品更新换代快、产品附加值高、资金投入量大等特点,是化工行业最具发展前景的领域之一。
国际上的大型超净高纯试剂厂主要在美国、日本和欧洲地区。目前,超净高纯试剂的国产化程度还比较低,我国市场主要被国际巨头垄断,国内企业的市场占有率仅占10%左右。据统计,目前国内湿电子化学品生产企业约有40多家,产品达到国际标准且具备一定生产规模的企业有30多家。多氟多就是其中的先行者与佼佼者。
电子级氢氟酸仓库
拥抱国产化蓝海
中国是全球最大的消费电子市场,各种电子产品和智能终端的需求暴发,带来了显示面板、半导体、太阳能电池等产品的产能扩张。以信息技术为依托的新基建产业,已成为我国经济发展的主力军。
看到电子产品的巨大市场空间与国内生产技术的不平衡后,多氟多董事长李世江准确研判行业发展趋势,带领企业深度拥抱湿电子化学品这片蓝海。
“想要实现全产业链的协同进步,需要攻克芯片、半导体、光学膜等一系列核心技术。而在上游湿电子化学品领域,中国企业尚未攻破难关,还需要突破。”李世江说。
各种统计数字也印证了李世江的观点。开源证券研报表示,湿电子化学品大量应用于半导体晶圆加工、显示面板制造及太阳能电池片的湿法制程,2020年国内三大应用领域的需求量分别为45万吨、69万吨、41万吨,总需求量较2018年增长68%,对应市场规模约为185亿元。目前光伏市场中,国产湿电子化学品基本满足生产需求,而平板显示、半导体领域的高等级产品仍存在较大的替代空间。根据电子材料行业协会统计,2018年太阳能电池、平板显示、半导体领域的湿电子化学品国产化率分别约为99%、35%、23%(按销售供应量计)。特别是OLED面板所需湿电子化学品,目前仍有品种被韩国、日本和我国台湾地区的少数电子化学品厂商垄断。加快推进湿电子化学品国产化进程势在必行。
电子级氢氟酸实验室
电子级氢氟酸率先突破
半导体行业有句俗话:入门要5年,10年磨半剑。作为后来者,中国企业涉足半导体等电子化学品领域难度可想而知。在李世江的带领下,多氟多经过近10年的开发研究,成功迈入了芯片行业。公司发挥氟技术优势,专注研究芯片行业用原材料,开发出电子氢氟酸生产新工艺,有力支撑了国家关键原材料的国产化和供给安全。
受下游市场需求不断增长的推动,我国电子级氢氟酸行业产量快速上升。据化工新材料网统计,2019年国内电子级氢氟酸产能约26万吨。随着世界半导体制造业向中国大陆逐步转移,中国半导体行业将快速增长。以集成电路、太阳能光伏、液晶显示屏等领域为主的下游应用需求,以及本土集成电路市场内生增长的广阔前景,将推动电子级氢氟酸行业快速发展。
氢氟酸还是去年日韩半导体之争的焦点。2019年7月,日本政府宣布将韩国排除在贸易“白色清单”,对出口到韩国的高纯度氟化氢、氟化聚酰亚胺,以及光刻胶等实施严格的出口管制。当时韩国的半导体企业几乎100%依赖日本等国所生产的高纯度氟化氢。作为这一事件的外溢效应之一,韩国企业迫切需要寻求原材料替代,多氟多等一批领先的中国电子化学品生产供应商抓住了这一契机。
据不完全统计,我国电子级高纯氢氟酸生产厂家有11家左右(包括已投产及在建)。但总体而言,我国高纯氢氟酸技术还处于中低水平,目前能达到半导体所用UP-SS级别(即G4级)的企业仅三四家,其中已投产的主要是多氟多和山东某企业。而能达到12寸晶圆使用需求的超高纯氢氟酸,即G5级别或UP-SSS级别的,国内企业更是屈指可数。
凭借深耕氟化工产业取得的丰富积累和先发优势,多氟多首先将创新方向瞄准了电子级氢氟酸产品。多氟多涉足这一领域的底气,就在于公司在氟硅材料方面的积累。完善的技术创新平台、实力雄厚的人才团队和较强的研发与工艺配套能力,以及多年的研发经验,为多氟多在电子化学品领域进一步提升产品等级、满足客户需求、拓展市场空间提供了保障。
多氟多先后成立了国家认定企业技术中心、国家认可实验室、国家博士后科研工作站、河南省无机氟化学工程技术研究中心、河南省含氟精细化学品工程实验室、国家技能大师工作室等研发平台。同时,公司注重“产、学、研”结合,与清华大学、北京化工大学、厦门大学、中科院过程所、中科院兰化所、中科院青岛所、北京协同创新研究院等20余家单位签订长期合作协议,开展电子化学品项目研发,促进成果转化,为企业的创新发展注入新活力。
作为氟化工行业的龙头企业,多氟多已经在电子级氢氟酸生产工艺、技术水平等各方面深耕沉淀多年,打下了坚实的根基。为了能突破超净高纯电子级氢氟酸生产关键技术,多氟多2008年就开始进行大量实验,依托自身在氟化工行业近30年的生产经验优势,不断完善工艺技术,改进生产设备,研制开发出了具有自主知识产权的三级纯化和两级膜过滤技术,并在精馏提纯、环境控制、设备优化等关键技术上实现了突破,终于成功制备超净高纯电子级氢氟酸。
依托自主开发的以工业无水氢氟酸为原料生产电子级氢氟酸的全套新工艺,2013年,多氟多建立起了万级清洗、千级灌装、百级分析室、电子级自动灌装线,制程设计为全球高端纯化工艺UP-SS级,氟化氢产品纯度达到ppt级,成为国内第一家具备超高纯电子级氢氟酸生产能力的企业。目前,多氟多电子级氢氟酸的产品性能已经优于行业内SEMI-C12的标准,阴离子(各种酸根离子)含量<5ppb,阳离子含量<10ppt,颗粒(粒径≥0.2μm)≤10个/ml,可以满足国内主流8寸、12寸芯片生产的工艺要求,实现了世界级电子化学品的中国制造。
从2018年10月开始,多氟多电子级氢氟酸就成功打开了韩国等国际市场,实现批量出口,经测试产品性能完全达到业界先进水平。2019年,多氟多电子级氢氟酸销售近3000吨,同比增长520%,对韩出口量单月可达300吨以上,成为公司新的利润增长点。
据多氟多市场负责人介绍,而从公司新近接触的几家韩国企业来看,每家企业每月电子级氢氟酸的需求量达到1000~2000吨,后续韩国市场对中国电子化学产品的需求有望持续增长。
目前,多氟多一期电子级氢氟酸生产线实现满负荷生产,年产5000吨电子级氢氟酸二期项目已建成投产,已具备年产1万吨超净高纯电子级氢氟酸(半导体级)的生产规模,光伏级电子级氢氟酸产品的月销量也位居全国前列。公司凭借强大的研发实力和突出的产品优势,获得了国内外客户的认可,构建了优质的业务平台。其中电子级氢氟酸产品品质达到UP-SSS级,已与德州仪器、重庆超硅半导体有限公司、上海华力微电子有限公司等多家国内8寸和12寸半导体客户建立合作关系,并成功切入韩国高端半导体供应链且持续稳定批量供应,出口数量位居国内前列,与日本及欧美半导体企业的接洽工作也在持续进行中。
电子级氢氟酸生产装置
多点布局前景可期
在李世江的带领下,多氟多充分发挥氟化工领域的技术优势,专注研究芯片行业用原材料,开发出电子级氢氟酸生产新工艺,有力支撑了国家关键原材料的国产化和供给安全。同时,在研究硅元素的基础上,以氟为媒介,通过氟硅分合,生产高纯度单晶硅、多晶硅,应用在芯片、光伏行业等。
2018年,多氟多成功并购浙江中宁硅业,利用其原有的电子级多晶硅、电子级硅烷等产品优势,深度布局半导体行业,形成河南焦作本部湿电子化学品和浙江衢州干电子化学品两个生产基地互补优势,加快推进集成电路用电子材料的系列化、高端化发展。
在氟硅领域取得突破后,多氟多加快了电子化学品领域的布局,目前已经掌握系列湿电子化学品生产工艺,并自主研发建设了满足规模化、专业化湿电子化学品生产流水线。公司湿电子化学品规模化生产所需的纯化技术、混配技术、分析检测技术、再生回收技术和配方工艺等在国内处于相对领先地位。
通过此次定增,多氟多除了规划年产30000吨电子级氢氟酸,还包括年产12000吨电子级氨水、12000吨电子级硝酸、6000吨电子级BOE,积极拓宽应用领域和市场份额。多氟多市场部负责人表示,公司电子化学品的系列布局和实施推进,旨在消除国内受限的技术等壁垒,为相关产品替代进口提供支撑。定增项目有望进一步扩大规模优势,丰富产品结构,完善产业链条,使公司迅速在电子化学品新材料领域形成国内领先优势,培育新的利润增长点。
值得注意的是,多氟多地处中原腹地,规划项目将进一步补足我国内陆地区电子化学品的供应短板。多家券商研报提出,国内湿电子化学品产能集中于华东地区,区域发展不平衡。近年来,多个集成电路、面板、太阳能电池项目在中西部落地。随着下游产业在中西部地区深入布局,内陆地区亟须更多就近配套的湿电子化学品供应商。
对于多氟多的定增项目,不少研究机构也好看发展前景。光大证券发布的最新研报认为,此次定增将助力公司发展战略调整和产业整合,抓住国内电子化学品市场快速增长的机遇,确立在电子级氢氟酸市场的领先地位,并加大在半导体新材料和氟硅新材料领域的布局。优质的客户资源将确保抓住市场增长和进口替代红利。随着近年来大量集成电路、面板和光伏电池项目在中西部的落地,多氟多湿电子化学品布局的区位优势有望发挥。发力重心持续向新材料业务倾斜,将驱动多氟多重归成长。
巨丰财经也认为,从行业趋势来看,我国已经成为全球最大的LCD生产地区,对集成电路、光伏、液晶显示等清洗和蚀刻用电子化学品需求不断增强,长期成长空间巨大。多氟多为首的相关公司有望长期受益。
李世江表示,未来新基建产业将成为我国经济发展的主要动力,相应的上游材料湿电子化学品市场需求也增长迅猛。多氟多要抓住新基建政策带动我国战略新兴产业发展的历史机遇,同时发挥公司氟化工产业链完整、基础设施配套齐全、规模领先以及工艺技术先进的优势,向产业高端化、产品差异化方向稳步发展,进一步丰富氟化工产业链内涵,形成更完善的产业链形态,巩固和提升公司的氟化工龙头地位。
(图片由企业提供)