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高精度数字化激光干涉仪关键技术”鉴定会在上海举行

A-A+日期:2019-10-29来源:中国仪器仪表学会    

   2019年10月24日,由中国仪器仪表学会组织的“高精度数字化激光干涉仪关键技术”项目鉴定会在上海理工大学成功举行。本项目是由上海理工大学、苏州慧利仪器有限责任公司和苏州维纳仪器有限责任公司共同完成。

 

  激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪,主要是以迈克尔逊干涉仪为主,并以稳频氦氖激光为光源,构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

 

  本次鉴定会的特点是高规格和国际化,首次由国内外院士和同行专家共同评审的一次国际性鉴定会。鉴定委员会专家由中国工程院院士庄松林、中国工程院院士李同保、中国工程院院士姜会林、中国工程院外籍院士和澳大利亚两院院士顾敏、中国计量科学研究院院长方向、上海光学精密机械研究所书记邵建达、德国联邦物理技术研究所主任Gerd Ehret、英国南安普顿大学教授John Mcbride、深圳大学教授彭翔、德国斯图加特大学主任Pedrini Giancarlo组成。

 

  中国仪器仪表学会副理事长吴幼华和主任燕泽程分别介绍了与会专家和鉴定会要求,上海理工大学副校长刘平致欢迎辞,上海理工大学科技处处长张大伟出席,中国工程院院士李同保主持了鉴定会,上海理工大学教授韩森做项目汇报。

 

  鉴定委员会听取项目研究报告后,审查了有关技术文件,查看了高精度数字化激光干涉仪。评审环节,各位专家分别就平面计量方向、测量环境、传递函数等问题提出了质询和深入讨论,并给出合理建议。

 

  最终对项目的关键创新点突破一等平面平晶检测的瓶颈限制、突破有限特定波长检测透射系统波前的局限、发明环形导轨内外槽面光学检测装置、提出模块化设计思路给予高度评价。形成鉴定结论:该项目研究成果技术难度大,创新性强,取得了多项自主知识产权,部分产品填补国内空白,总体技术达到了国际先进水平,PV值测量等核心指标及相关技术达到国际领先水平。

 

 

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